日立高科技公司于7月24日宣布，将在茨城县ひたちな市新光町取得工厂用地，建设新工厂。新工厂建设的目标是强化半导体制造装置事业和分析装置事业的开发、生产能力。新工厂地上6层，占地面积约12万5000平方米，占地面积约5万平方米。总投资额约为300亿日元。在作为主要生产据点的那珂地区近郊的常陆那珂工业园地内11月开工，预定着完成2021年2月。